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2022-03

模拟型微小气体流量控制器

气体质量流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成。气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的气体质量流量(无需温度压力补偿)。 将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电...

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2022-03

数显微小气体流量控制器

气体质量流量控制器, 即Mass Flow Controller(缩写为MFC), 不但具有气体质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。简单...