气体质量流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成。气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的气体质量流量(无需温度压力补偿)。
将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与气体质量流量控制器配套的流量显示仪上设置有稳压电源,数字电压表, 设定电位器, 外设、内设转换和三位阀控开关等。
模拟型微小气体流量控制器应用行业
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模拟型微小气体流量控制器选型表
型号 | 介质 | 流量范围 | 供电 | 输出 | 显示 | 通讯 | 压差范围 | 压差范围 | 进口压力 | 温度 | 连接 | 标定 |
GMFM-CXB-4-R4-D-A1-F1 | 气体 | ≤10SCCM | 12-24V | 0-5v或者4-20mA | LCD | RS485 | ±1%FS | 0.05Mpa-0.3MPa | ≤0.3Mpa | 5-65℃ | 6mm卡套接头 | 氮气 |
GMFM-CXB-4-R4-D-A1-F2 | 10SCCM---30SLM | |||||||||||
GMFM-CXB-4-R4-D-A1-F3 | >30且≤150SLM | 10mm卡套接头 | ||||||||||
GMFM-CXB-4-R4-D-A1-F4 | 150SLM--250SLM | 12mm卡套接头 | ||||||||||
GMFM-CXB-4-R4-D-A1-F5 | 300-1000SLM | |||||||||||
GMFM-CXB-4-R4-D-A1-F6 | 1000-2000SLM | |||||||||||
GMFM-CXB-4-R4-D-A1-F7 | 2000-3000SLM |